物(wu)料搬(ban)(ban)運(yun)控(kong)制系統(tong) (Material Control System) 接收 MES 搬(ban)(ban)運(yun)指(zhi)令(ling),尋找特定物(wu)料所(suo)在(zai)的(de)(de)“工具機或裝(zhuang)備”(以下簡稱“設施(shi)”)與目的(de)(de)地設施(shi)間的(de)(de)最(zui)短(duan)路徑,并將(jiang)此任務發布給下屬子系統(tong),通(tong)過實時監控(kong)下屬子系統(tong)每(mei)個物(wu)料設施(shi)任務的(de)(de)執行情(qing)況,實現全自動化(hua)生產所(suo)需的(de)(de)搬(ban)(ban)運(yun)工作(zuo)。
實時監控(kong)AMHS設備和(he)物(wu)料(晶圓盒)的內部(bu)運輸設備
支持SEMI標準(SECS、GEM、Stocker SEM、IB-SEM)
最短路徑應用部署(shu),根(gen)據工(gong)廠狀(zhuang)態進行高效的最佳(jia)動態路徑
具備Active-Active容錯能(neng)力
強大的(de)可擴展性(xing) - 主機 / AMHS裝備等(deng),均可輕松集成。